DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 신상영 | ko |
dc.contributor.author | 손영성 | ko |
dc.date.accessioned | 2022-11-18T05:04:24Z | - |
dc.date.available | 2022-11-18T05:04:24Z | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/300008 | - |
dc.description.abstract | 광도파로 패턴이 형성된 기판과 상기 광도파로 패턴상에 형성된 자기정렬된 유전체 클래딩을 갖는 구조로 되며, 상기 광도파로 패턴은 기판의 상면에 마스크 채널패턴을 형성하고 저온에서 양자교환 시킨 후 포토레지스트를 입히고 기판의 아랫면에 노출을 주어 감광시켜서 상기 양자교환에 사용한 마스크를 그대로 사용하여 포토레지스트를 현상하는 것에 의해 형성되고, 상기 유전체 클래딩은 광도파로 패턴이 양자 확산될 때 양자의 외부확산을 억제하고 내부확산을 촉진하는 마스크역할을 하는 것을 특징으로 하는 양자확산형 광도파로의 제작방법 | - |
dc.title | 광도파로제작방법및구조 | - |
dc.title.alternative | OPTICAL WAVEGUIDE | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 신상영 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 손영성 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1989-0011376 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0057497-0000 | - |
dc.date.application | 1989-08-10 | - |
dc.date.registration | 1992-12-21 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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