액상결정성장에서선택적용액식각을이용한집적형태의광소자MELTBACK MICRO-LENS ARRAY FOR OPTICAL DEVICES
화합물 반도체 기판을 불포화된 Ⅲ족의 금속용액상태(melt)로 선택적용액식각하여 얻어진 원형식각면을 재결정성장으로 채워 형성시킨 렌즈면을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상 결정성장에서 선택적 용액식각을 이용한 집적형태의 광소자
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 1990-04-11
- Application Number
- 10-1990-0004980
- Registration Date
- 1993-02-13
- Registration Number
- 10-0059352-0000
- Appears in Collection
- RIMS Patents
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.