2-축 가속도 센서 및 그 제조방법(2-axis accelerometer and fabricating method thereof)

Abstract

본 발명은 측면 전계 방출을 이용한 2-축 가속도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 기존의 전계 방출을 이용한 가속도 센서는 수직형 전계 방출을 이용하기 때문에 1-축에 대한 가속도 밖에 측정 할 수 없었다. 그렇지만 본 발명에서는 측면 전계 방출을 이용하기 때문에 2-축에 대한 가속도를 동시에 측정할 수 있다. 화학 기계적 연마방식을 이용하여 탐침 간격이 매우 좁은 탐침 전극을 제조하기 때문에 낮은 전압에서 동작을 하게 되고 또한 기존의 높은 전압에 의한 정전기력을 이용하여 탐침을 가까이 가져오는 단계가 필요하지 않게 된다. 전계 방출을 이용하면 다른 방식의 가속의 감지 방법에 비해서 높은 감지도와 민감도를 가진다.가속도, 센서, 측면, 전계, 방출, 질량체, 스프링, 탐침, 간격