전기영동현상을이용한연삭.연마가공액중에존재하는미세입자회수.여과방법

Abstract

본 발명은 미세입자를 회수·여과하는 방법에 관한 것으로서, 연삭·연마가공액중에(+),(-)전극을 설치하고, 양 전극간에 공급전원으로 전압을 부가하여 상기 가공액중에 대전된 상태로 존재하는 미세한 입자를 전기영동현상을 이용하여 한 방향으로 이동·응집시켜 회수·여과함으로써, 가공액의 청정도 유지와 균일한 가공환경의 지속이 가능하여 보다 고품위(high integrity or damage free)의 가공면을 안정되게 얻는 것이 가능하며, 기존의 여과방식 혹은 여과공정의 소형화, 간이화가 가능한 전기영동현상을 이용한 연삭·연막가공액중에 존재하는 미세입자 회수·여과방법이다.