리튬탄탈레이트결정의분극반전방법POLARIZATION REVERSING METHOD OF LITHIUM TANTALITE CRYSTAL
본 발명은 준위상정합 방법에 의한 리튬탄탈레이트 청색광파 생성소자 제작에 요구되는 분극반전의 제작방법에 대한 것으로,-Z면 리튬탄탈레이트기판(1)위에 분극반전을 위한 선택적인 양자교환을 수행한 다음 기판(1)위에 양자외부확산 억제마스크를 덮은 상태에서 열처리를 행함으로써 상기 양자외부확산 억제마스크의 역할에 의해 기판(1)표면에 분극반전 미형성층의 형성을 억제시키며, 교환된 양자의 깊이방향 확산을 촉진하여 분극반전 깊이를 깊게 하고,분극반전을 위한 초기 양자교환율을 낮춤으로써 분극반전 격자와 수직하게 제작되는 광도파로제작을 용이하게 하는 효과를 제공하게 된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 1994-09-28
- Application Number
- 10-1994-0024502
- Registration Date
- 1998-02-23
- Registration Number
- 10-0138839-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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