자체진단기능을구비한대칭질량형가속도계및그제조방법

Abstract

본 발명은 자체진단 기능을 구비한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에어백, 능동현가, 항법시스템 등 자동차용 전장시스템이나 변위, 속도, 진동, 가속도 및 각 가속도 측정을 위한 가전, 산업용 전자계측시스템 구성에 사용할 목적으로 동일크기의 질량체를 보(beam)의 양면에 각각 배치하여 질량편심을 없앰으로써 횡방향 감도(cross-axis sensitivity)를 향상시킴과 동시에, 양쪽 질량체간의 상대위치를 조절함으로써 자체진단(self-diagnosis)용 구조물의 설치가 가능하게끔 고안한 대칭질량형 가속도계 및 그 제조방법에 관한 것이다.