일체형으로 제작된 유연 압전 음성센서Flexible Piezoelectric Acoustic Sensor Fabricated Integrally via Si Supporting Substrate
압전 물질층을 포함하는 음성센서로서, 상기 음성센서는 기판; 지지층; 금속층; 상기 금속층 상의 압전물질층 및 상기 압전물질층 상의 전극을 포함하며, 상기 기판은 상기 압전물질층, 전극 및 폴리머층을 포함하는 박막의 일부를 노출하는 방식으로 상기 음성센서의 소자층을 일체형으로 지지하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서가 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원,주식회사 프로닉스
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-06-30
- Application Number
- 10-2020-0080524
- Registration Date
- 2022-08-05
- Registration Number
- 10-2431075-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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