마이크로 렌즈 어레이 및 이를 포함하는 이미지 센서모듈과 그 제조방법IMicro lens array and Image sensor module including the same and Manufacturing method thereof
본 발명은 마이크로 렌즈 어레이 및 이를 포함하는 이미지 센서모듈과 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 어두운 환경에도 이미징이 가능하면서 소형화가 가능한 마이크로 렌즈 어레이 및 이를 포함하는 이미지 센서모듈과 그 제조방법에 관한 것이다. 한편, 본 발명의 일 실시형태에 따른 이미지 센서모듈은 투명한 기판과; 상기 기판의 표면에 패터닝된 홀이 형성되고, 금속으로 형성되는 제 1 흡수층과; 상기 제 1 흡수층에 형성된 홀을 채우면서 상기 제 1 흡수층의 표면에 형성되고, 투명한 폴리머로 형성되는 제 1 투과층과; 상기 제 1 흡수층에 형성된 홀의 패턴에 대응되는 패턴으로 패터닝된 홀을 형성하면서 상기 제 1 투과층의 표면에 형성되고, 불투명한 폴리머로 형성되는 제 2 흡수층과; 상기 제 2 흡수층에 형성된 홀을 채우면서 상기 제 2 흡수층의 표면에 형성되고, 투명한 폴리머로 형성되는 제 2 투과층과; 상기 제 2 흡수층에 형성된 홀의 패턴에 대응되는 패턴으로 상기 제 2 투과층의 표면에 형성되는 마이크로 렌즈를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이와; 상기 마이크로 렌즈와 소정 간격 이격되어 배치되는 이미지 센서를 포함한다.
- Assignee
- 엘아이지넥스원 주식회사,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-01-06
- Application Number
- 10-2020-0001709
- Registration Date
- 2022-08-02
- Registration Number
- 10-2429987-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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