스트레인 센서 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 스트레인 센서STRAIN SENSOR FABRICATING METHOD AND THE STRAIN SENSOR FABRICATED BY THE SAME
본 발명에 따른 스트레인 센서 제조방법은 복수의 돌출부가 구비된 기판을 제공하는 기판 제공 단계, 상기 기판에 대하여 제1 경사각을 갖고 증착물질을 증착하는 제1 경사증착 단계 및 상기 기판에 대하여 제2 경사각을 갖고 증착물질을 증착하는 제2 경사증착 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 스트레인 센서의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 스트레인 센서에 의하면, 크랙의 정렬도 및 밀도를 매우 향상시킬 수 있기 때문에 민감도를 월등히 높일 수 있고, 뛰어난 내구성을 확보할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-11-10
- Application Number
- 10-2020-0149706
- Registration Date
- 2022-06-21
- Registration Number
- 10-2413229-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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