정전 구동 스위치Electrostatic drive switch
실시예에 따른 정전 구동 스위치는 상기 정전 구동 스위치를 구동시키기 위한 전압이 인가되는 소스플레이트 및 상기 소스플레이트와 이격된 드레인전극을 포함하고, 상기 소스플레이트는 소스전극 및 상기 소스전극에 연결된 탄성부로 구성되고, 상기 소스전극에는 제1물질과 상기 제1물질보다 낮은 경도를 갖는 제2물질이 형성되고, 상기 전압으로 상기 소스전극과 상기 드레인전극이 전기적으로 연결될 때, 상기 제1물질이 상기 탄성부에 의해 상기 드레인전극에 접촉된 후, 상기 제2물질이 상기 탄성부에 의해 상기 드레인전극에 접촉되는 것을 특징으로 한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-04-27
- Application Number
- 10-2020-0050895
- Registration Date
- 2022-06-21
- Registration Number
- 10-2413228-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.