센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 서정헌 | ko |
| dc.contributor.author | 이태억 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-07-26T03:03:45Z | - |
| dc.date.available | 2022-07-26T03:03:45Z | - |
| dc.date.created | 2022-06-08 | - |
| dc.date.issued | 2021-06-04 | - |
| dc.identifier.citation | 대한산업공학회/한국경영과학회 2021년 춘계 공동학술대회, pp.4911 - 4931 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/297501 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회/한국경영과학회 | - |
| dc.title | 센서 기반 클리닝을 실시하는 클러스터 장비에 대한 피드백 기반 웨이퍼 지연 제어 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 4911 | - |
| dc.citation.endingpage | 4931 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한산업공학회/한국경영과학회 2021년 춘계 공동학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 국제컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
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- IE-Conference Papers(학술회의논문)
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