전자빔 방출 소스를 이용한 플라즈마 장치Plasma Apparatus With An electron Beam Emission Source
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김영철 | ko |
| dc.contributor.author | 임예건 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-05-11T07:00:17Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-11T07:00:17Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/296474 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 장치는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내에 배치되는 적어도 하나의 선형 도선; 상기 선형 도선에 직류 전류를 제공하는 직류 전원; 및 상기 선형 도선을 감싸도록 배치되어 상기 선형 도선의 전류의 방향에 반대 방향으로 전자를 방출하는 적어도 하나의 코어 필라멘트를 포함한다. | - |
| dc.title | 전자빔 방출 소스를 이용한 플라즈마 장치 | - |
| dc.title.alternative | Plasma Apparatus With An electron Beam Emission Source | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김영철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임예건 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2020-0106645 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2391045-0000 | - |
| dc.date.application | 2020-08-25 | - |
| dc.date.registration | 2022-04-22 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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