근접장 나노 패터닝 기술 기반 3차원 산화물 나노 구조체 제작 및 고경도 고유연 나노 복합체 응용 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 배광민 | ko |
| dc.contributor.author | 전석우 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-12-21T06:53:25Z | - |
| dc.date.available | 2021-12-21T06:53:25Z | - |
| dc.date.created | 2021-12-20 | - |
| dc.date.issued | 2021-11-17 | - |
| dc.identifier.citation | 2021년도 차세대 리소그래피 학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/290821 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국광학회 | - |
| dc.title | 근접장 나노 패터닝 기술 기반 3차원 산화물 나노 구조체 제작 및 고경도 고유연 나노 복합체 응용 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2021년도 차세대 리소그래피 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 평창 알펜시아 컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 전석우 | - |
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