다채널 어레이를 이용한 복합 물리력 측정 센서 및 이의 제조 방법Multi-axial Physical Sensor using Multi-layer Micro-channel Array
본 발명은 외부에서 가해지는 힘을 측정하기 위한 물리력 측정 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다중 마이크로 채널 어레이를 3차원 돌출 형태의 몸체에 적용하여 외부에서 가해지는 수직 방향의 힘은 물론 수평 방향과 같은 3차원 방향의 힘을 모두 감지할 수 있는 다채널 어레이를 이용한 복합 물리력 측정 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-05-29
- Application Number
- 10-2020-0064878
- Registration Date
- 2021-11-16
- Registration Number
- 10-2329236-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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