기판 검사 장치 및 스크린 프린터의 결함 유형 결정 방법APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE AND METHOD FOR DETERMINING FAULT TYPE OF SCREEN PRINTER

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기판 검사 장치가 개시된다. 기판 검사 장치는, 제1 기판에 대한 이미지를 이용하여, 이상이 감지된 복수의 제2 솔더 페이스트를 나타내는 적어도 하나의 이미지를 생성하고, 생성된 적어도 하나의 이미지를 머신-러닝 기반 모델에 적용하고, 머신-러닝 기반 모델로부터, 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형의 각각과 적어도 하나의 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 제1 값 및 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 제1 이미지를 획득하고, 획득된 복수의 제1 값 및 복수의 제1 이미지를 이용하여, 복수의 제2 솔더 페이스트와 관련된 복수의 제2 결함 유형을 결정하고, 복수의 제2 결함 유형 각각과 관련된 적어도 하나의 제3 솔더 페이스트를 결정할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원, 주식회사 고영테크놀러지
Country
KO (South Korea)
Application Date
2020-01-21
Application Number
10-2020-7015760
Registration Date
2021-09-06
Registration Number
10-2300951-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/287737
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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