기판 검사 장치 및 스크린 프린터의 결함 유형 결정 방법

Abstract

기판 검사 장치가 개시된다. 기판 검사 장치는, 제1 기판에 대한 이미지를 이용하여, 이상이 감지된 복수의 제2 솔더 페이스트를 나타내는 적어도 하나의 이미지를 생성하고, 생성된 적어도 하나의 이미지를 머신-러닝 기반 모델에 적용하고, 머신-러닝 기반 모델로부터, 스크린 프린터의 복수의 제1 결함 유형의 각각과 적어도 하나의 이미지와의 관련성을 나타내는 복수의 제1 값 및 복수의 제1 결함 유형 중 하나의 결함 유형과 관련된 영역을 나타내는 복수의 제1 이미지를 획득하고, 획득된 복수의 제1 값 및 복수의 제1 이미지를 이용하여, 복수의 제2 솔더 페이스트와 관련된 복수의 제2 결함 유형을 결정하고, 복수의 제2 결함 유형 각각과 관련된 적어도 하나의 제3 솔더 페이스트를 결정할 수 있다.