가변 필터와 광 검출기가 온-칩으로 결합된 초소형 바이오 센서 및 그의 제조 방법COMPACT BIOCHEMICAL ON-CHIP SENSOR BASED ON VARIABLE FILTER AND PHOTODETECTOR, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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dc.contributor.author장민석ko
dc.contributor.author하헌학ko
dc.contributor.author차진웅ko
dc.date.accessioned2021-08-18T23:50:19Z-
dc.date.available2021-08-18T23:50:19Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/287239-
dc.description.abstract다양한 실시예들은 가변 필터와 광 검출기가 온-칩으로 결합된 초소형 바이오 센서 및 그의 제조 방법을 제공할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 초소형 바이오 센서는, 광 검출기, 및 광 검출기 상에 결합되고, 인가되는 전압에 따라 다른 공진 주파수를 투과시키는 가변 필터를 포함하며, 가변 필터는, 복수 개의 금속 패드들, 및 금속 패드들의 사이에 형성되는 그래핀 공진 패턴을 포함할 수 있다.-
dc.title가변 필터와 광 검출기가 온-칩으로 결합된 초소형 바이오 센서 및 그의 제조 방법-
dc.title.alternativeCOMPACT BIOCHEMICAL ON-CHIP SENSOR BASED ON VARIABLE FILTER AND PHOTODETECTOR, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor장민석-
dc.contributor.nonIdAuthor하헌학-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2020-0058867-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2291699-0000-
dc.date.application2020-05-18-
dc.date.registration2021-08-13-
dc.publisher.countryKO-
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EE-Patent(특허)
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