기판 상의 패턴 형성방법 및 이에 따라 제조되는 패턴이 형성된 기판

Abstract

본 발명의 목적은 기판 상에 패턴을 형성하는 방법, 특히 표면 증강 라만 분광 기판의 제조방법 및 이에 의하여 제조되는 패턴이 형성된 기판, 특히 표면 증강 라만 분광 기판을 제공하는데 있다. 이를 위하여 본 발명은 레이저 간섭 리소그래피를 이용하여 기판 상에 패턴화된 마스크를 형성하는 단계; 액상 레이저 융제를 이용하여 나노입자를 제조하는 단계; 전기영동을 이용하여 상기 나노입자를 상기 패턴화된 마스크를 포함하는 기판 상에 전착시키는 단계; 및 상기 마스크를 제거하는 단계;를 포함하는 기판 상의 패턴 형성방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 이와 같은 방법으로 제조되는 표면에 패턴이 형성된 기판을 제공한다. 본 발명에 따르면, 비진공 상태에서 공정을 수행할 수 있어 공정 비용을 절감할 수 있고, 대면적으로 기판을 제조할 수 있고, 거친 표면으로 패턴을 형성하여 민감도가 증가하고, 재현성이 우수한 기판, 특히 표면 증강 라만 분광 기판을 제공할 수 있는 효과가 있다.