공중부유형 나노와이어 구조체 및 공중부유형 나노와이어 구조체 제작 방법Airborne nanowire structure and manufacturing method of airborne nanowire structure
본 발명의 실시예에 따른 공중부유형 나노와이어 구조체는 기판, 상기 기판 상에 배치된 제1 돌출부, 상기 제1 돌출부 상에 배치되며 상기 기판 상에서 공중에 부유된 제1 전극부, 상기 기판 상에서 상기 제1 돌출부와 소정 거리 이격되어 배치된 제2 돌출부, 상기 제2 돌출부 상에 배치되며 상기 기판 상에서 공중에 부유된 제2 전극부 및 상기 제1 전극부와 상기 제2 전극부 사이에 배치된 공중부유형 나노와이어를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-03-03
- Application Number
- 10-2020-0026830
- Registration Date
- 2021-06-04
- Registration Number
- 10-2263259-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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