3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치 및 이를 구비한 3D 프린팅 시스템

Abstract

3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치 및 이를 구비한 3D 프린팅 시스템이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치는 3D 프린팅용 레이저 소스로부터 조사된 레이저 빔에 의해 모재를 녹임으로써 형성되는 프린팅 대상물의 상태를 검사하기 위해 조사되는 레이저 빔을 생성하는 펨토초 레이저 소스, 펨토초 레이저 소스에서 생성된 레이저 빔을 펌프 레이저 빔과 프로브 레이저 빔으로 분리하는 빔 스플리터, 펌프 레이저 빔을 변조하는 전기/음향 광학변조기, 프로브 레이저 빔을 지연시키는 시간 지연부, 프린팅 대상물에 의해 반사된 프로브 레이저 빔을 검출하는 광 검출기, 및 광 검출기의 출력신호의 진폭과 위상을 검출하는 락인 증폭기를 포함한다. 여기서, 펨토초 레이저 소스는 3D 프린팅용 레이저 소스와 동축 상으로 배치되는 3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치가 제공된다.