마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법MANUFACTURING METHOD OF MICRO SUPER CAPACITOR DEVICE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 안치원 | ko |
| dc.contributor.author | 김은지 | ko |
| dc.contributor.author | 이용희 | ko |
| dc.contributor.author | 이병주 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-06-03T07:30:20Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-03T07:30:20Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/285524 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전극간 간격을 나노미터 단위로 정밀하게 패터닝할 수 있는 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법에 관한 것이다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 a) 맥신(MXene) 및 탄소나노튜브(CNT)로 이루어진 나노복합체가 제조되는 단계; b) 상기 나노복합체를 이용하여 박막필름을 형성하는 단계; c) 상기 박막필름에 전극을 형성하는 단계; 및 d) 상기 전극이 형성된 박막필름이 패터닝되어 마이크로 슈퍼 커패시터가 제조되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법을 제공한다. | - |
| dc.title | 마이크로 슈퍼 커패시터 소자의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | MANUFACTURING METHOD OF MICRO SUPER CAPACITOR DEVICE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 안치원 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김은지 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이용희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이병주 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2019-0160876 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2254040-0000 | - |
| dc.date.application | 2019-12-05 | - |
| dc.date.registration | 2021-05-13 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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