광학 활성 공진기와 미세유체 채널이 결합된 온-칩 센서 장치 및 그 제조 방법APPARATUS FOR ON-CHIP LABEL-FREE SENSORS BASED ON THE OPTICALLY ACTIVE RESONATORS INTEGRATED WITH MICROFLUIDIC CHANNELS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
광학 활성 공진기와 미세유체 채널이 결합된 온-칩 센서 장치 및 그 제조 방법이 제시된다. 일 실시예에 따른 광학 활성 공진기는, 적어도 하나 이상의 실리콘 질화물(silicon nitride) 디스크 플레이트; 및 상기 실리콘 질화물 디스크 플레이트의 내부에 형성되는 실리콘 나노클러스터(silicon nanocluster)를 포함하고, 상기 실리콘 나노클러스터의 흡수 단면을 통해 상부의 펌프 빔 조사만으로 광발광(Photoluminescence, PL)을 방출할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-08-19
- Application Number
- 10-2019-0100863
- Registration Date
- 2021-04-23
- Registration Number
- 10-2245891-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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