마이크로미터 이하의 필름 패터닝을 위한 저온 스핀코팅 공정 방법 및 장치LOW-TEMPERATURE SPIN-COATING PROCESS METHOD AND APPARATUS FOR PATTERNING A FILM UNDER MICROMETER
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정연식 | ko |
| dc.contributor.author | 이정혜 | ko |
| dc.contributor.author | 이헌 | ko |
| dc.contributor.author | 최학종 | ko |
| dc.contributor.author | 허대홍 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-04-27T04:50:25Z | - |
| dc.date.available | 2021-04-27T04:50:25Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/282670 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 유무기 하이브리드 물질을 이용한 용액 공정으로 마이크로미터 이하의 필름 패터닝을 실현하는 저온 스핀코팅 공정 방법 및 장치에 관한 것으로, 친수성막 기판을 제작하는 단계, 상기 친수성막 기판을 패터닝하는 단계, 상기 패터닝된 친수성막의 부분 영역에 소수성막을 코팅하여 가이드 기판을 제작하는 단계 및 상기 가이드 기판 상에 유무기 하이브리드 물질을 저온 스핀코팅하는 단계를 포함한다. | - |
| dc.title | 마이크로미터 이하의 필름 패터닝을 위한 저온 스핀코팅 공정 방법 및 장치 | - |
| dc.title.alternative | LOW-TEMPERATURE SPIN-COATING PROCESS METHOD AND APPARATUS FOR PATTERNING A FILM UNDER MICROMETER | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 정연식 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이정혜 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이헌 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최학종 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 허대홍 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원,고려대학교 산학협력단 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2019-0051425 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2244053-0000 | - |
| dc.date.application | 2019-05-02 | - |
| dc.date.registration | 2021-04-19 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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