방사선에 의한 반도체 손상 방지 방법 및 장치METHOD AND APPARATUS FOR PREVENTING SEMICONDUCTOR DAMAGE BY RADIATION
본 발명은 방사선에 의한 반도체 손상 방지 방법 및 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 장치의 배송 및 보관 중 우주나 지구 표면에서 발생된 중성자 또는 양성자 등의 방사선에 의한 반도체 손상을 방지하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 미세 전극칩을 적재하는 단계 및 적재된 상기 미세 전극칩의 게이트 전극에 음전위를 형성하는 단계를 포함하는 구성을 개시한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-07-10
- Application Number
- 10-2018-0080074
- Registration Date
- 2021-04-12
- Registration Number
- 10-2240971-0000
- Appears in Collection
- NE-Patent(특허)
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