웨이퍼 레벨 전사를 이용한 중/소형 디스플레이의 대량 제조방법 및 대형 디스플레이 제조 방법METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY FOR MASS PRODUCTION USING WAFER LEVEL TRANSFER AND LARGE AREA DISPLAY
본 발명은, 웨이퍼 레벨 전사를 이용한 중/소형 디스플레이의 대량 제조방법 및 대형 디스플레이에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 웨이퍼 레벨의 마이크로-LED 어레이를 제조하는 단계; 상기 복수개의 웨이퍼 레벨의 마이크로-LED 어레이를 웨이퍼 레벨 전사 공정으로 디스플레이 기판 상에 전사하는 단계; 상기 전사된 마이크로-LED 어레이 상에 평탄층을 형성하여 평탄화하는 단계; 상기 평탄층에 비아홀을 형성하는 단계; 및 상기 평탄화된 마이크로-LED 어레이 상에 TFT 어레이를 배열 및 증착하여 마이크로-LED 어레이와 TFT 어레이를 집적하는 단계;를 포함하는, 중/소형 디스플레이의 대량 제조방법 및 대형 디스플레이에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-07-02
- Application Number
- 10-2019-0079451
- Registration Date
- 2021-04-16
- Registration Number
- 10-2243109-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)PH-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.