박막 이종 적층구조 기반 열전 및 압전 하이브리드 에너지 하베스팅 시스템 및 제작 방법THERMO- AND PIEZO-ELECTRIC HYBRID ENERGY HARVESTING SYSTEMS BASED ON MULTILAYERED STRUCTURES MADE OF DIFFERENT THIN FILMS AND THE METHOD OF MAKING THE SAME
본 발명의 일 실시예에 하이브리드 에너지 하베스팅 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 형성된 제1 전극과, 상기 제1 전극 위에 형성되는 압전층과, 상기 압전층 위에 형성되는 비압전층과, 상기 비압전층 위에 형성되는 제2 전극을 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-01-22
- Application Number
- 10-2019-0008061
- Registration Date
- 2021-03-29
- Registration Number
- 10-2235528-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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