미세 금속 마스크를 제작하는 방법MANUFACTURING METHOD USING FINE METAL MASK
일 실시 예에 따른 미세 금속 마스크를 제작하는 방법은, 마스킹 패턴을 갖는 몰드를 제작하는 단계; 베이스 기판 또는 상기 몰드에 경화성 수지를 도포하는 단계; 도포된 수지에 상기 몰드의 상기 마스킹 패턴을 사용하여 임프린팅하는 단계; 임프린팅된 수지에 마스크용 시드 금속을 증착하는 단계; 상기 마스크용 시드 금속 상에 마스크 금속을 도금하는 단계; 및 상기 마스크 금속이 도금되어 형성된 미세 금속 마스크를 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 주식회사 제이마이크로,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-11-01
- Application Number
- 10-2019-0138721
- Registration Date
- 2021-04-02
- Registration Number
- 10-2237716-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.