유기 광원이 집적된 탐침 및 이의 제조 방법PROBE INTEGRATED WITH ORGANIC LIGHT SOURCE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
유기 광원이 집적된 탐침 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 유기 광원 집적 방법은, 탐침 소자 위에 제1 박막 봉지막을 형성하는 단계와, 상기 제1 박막 봉지막 상의 제1 영역에 상기 제1 전극을 증착하는 단계와, 상기 제1 박막 봉지막 상의 제2 영역에 상기 절연층을 증착하는 단계와, 상기 제1 전극과 상기 절연층 위에 발광층을 증착하는 단계와, 상기 발광층의 위에 제2 전극을 증착하는 단계와, 상기 제2 전극의 위에 제2 박막 봉지막을 형성하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-09-19
- Application Number
- 10-2019-0115599
- Registration Date
- 2021-03-29
- Registration Number
- 10-2235134-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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