다성분계 나노패턴의 제작방법Method of Preparing Multi-Component Nanopattern
본 발명은 이차 스퍼터링 현상을 이용하여 고분자 패턴이 형성된 기판에 다성분 물질의 필름을 증착한 다음, 2회의 이온식각공정을 통해 규칙적인 배열을 가지며, 다양한 조성의 조합이 가능한 다성분계 나노패턴을 제작할 수 있으며, 규칙적으로 배열된 다성분계 나노구조체를 필요로 하는 트랜지스터, 유기광전자소자, 촉매, 가스 센서 등의 응용 분야에 적용할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-10-02
- Application Number
- 10-2019-0122140
- Registration Date
- 2021-02-25
- Registration Number
- 10-2222772-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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