금속 나노입자가 코팅된 탄소나노튜브 네트워크를 포함하는 접촉식 마이크로 소자 및 이의 제조 방법

Abstract

본 발명은 금속 나노입자가 코팅된 탄소나노튜브 네트워크를 포함하여, 접촉 저항이 낮으면서도 높은 접촉 수명을 갖는 접촉식 마이크로 소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 수직방향으로 가해지는 힘에 의해 압축이 가능한 탄소나노튜브 네트워크를 포함하고, 이러한 압축으로 인한 접촉 면적의 변화를 통해 마이크로 소자의 전기 저항이 변화될 수 있으며, 상기 탄소나노튜브 네트워크에 전도성이 높은 금속 나노입자가 코팅되어 낮은 접촉 저항과 높은 접촉 수명을 갖는 마이크로 소자(예를 들어 MEMS 스위치, MEMS relay, 접촉식 스위치 기반의 논리소자, 접촉식 센서 등)를 제공할 수 있다. 대기 및 고전류 접촉 환경(1 μA)에서 백만 번 이상의 높은 수명을 가지면서도 약한 접촉에서도 낮은 접촉저항을 갖는 장점이 있다.