공중 부유형 나노와이어 및 이의 제조 방법SUSPENDED TYPE NANOWIRE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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본 발명의 실시 형태에 따른 공중 부유형 나노와이어는, 기판 상에 배치된 제1 전극과, 기판 상에 배치되고 제1 전극과 이격되어 배치된 제2 전극에 각각 고정되어 전기적으로 연결되며, 기판 상에 공중 부유되는 나노와이어로, 공중 부유형 나노와이어의 길이방향과 직교하는 방향의 단면은 하나 이상의 굴곡부를 포함하고, 굴곡부는 기준면; 및 기준면으로부터 하측으로 연장 형성된 하나 이상의 측면;을 포함할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2019-07-16
Application Number
10-2019-0085649
Registration Date
2021-02-17
Registration Number
10-2218984-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/280974
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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