단결정실리콘 기반 유연센서 및 그 제작방법

Abstract

본 발명은 단결정실리콘 기반 유연센서 및 그 제작방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은, 단결정실리콘 기술을 기반으로 고성능 및 고유연성을 동시에 만족시킬 수 있는, 단결정실리콘 기반 유연센서 및 그 제작방법을 제공함에 있다. 보다 구체적으로는, 본 발명의 목적은, 예를 들어 곡률 반경 1mm 정도의 매우 가느다란 침습용 프로브와 같은 대상물에도 원활하게 설치되어 사용 가능할 만큼 고유연성을 가지며, 물성 측정 신호를 고성능 증폭회로를 통해 고민감도로 얻어냄에 따라 압력, 온도, pH 등과 같은 다양한 물성을 고성능으로 측정해 낼 수 있는, 단결정실리콘 기반 유연센서 및 그 제작방법을 제공함에 있다.