Equipment Front-End Module을 포함한 다중 슬롯 클러스터 장비에 대한 EFSM 모델링
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 서정헌 | ko |
| dc.contributor.author | 이태억 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-02-16T04:30:17Z | - |
| dc.date.available | 2021-02-16T04:30:17Z | - |
| dc.date.created | 2020-12-07 | - |
| dc.date.issued | 2019-11-08 | - |
| dc.identifier.citation | 2019 대한산업공학회 추계학술대회, pp.3453 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/280752 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | Equipment Front-End Module을 포함한 다중 슬롯 클러스터 장비에 대한 EFSM 모델링 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 3453 | - |
| dc.citation.endingpage | 3453 | - |
| dc.citation.publicationname | 2019 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 서울대학교 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
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