2차원 다중접합 금속산화물 다공성 나노쉬트 가스센서용 부재 및 그 제조 방법Two-dimensional MULTI-BONDED metal oxide POROUS nanosheet gas sensor member AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
본 발명은 이온 박리 기법으로 1-5 nm 두께 범위의 단결정 금속산화물 나노쉬트를 형성한 후 추가적인 갈바닉 치환기법을 이용하여 제2의 금속산화물 나노그레인들을 금속산화물 나노쉬트 표면에 형성함에 따라 다중접합과 다공성 구조를 가진 금속산화물 나노쉬트 가스 센서용 부재를 제안한다. 본 발명에 따른 금속산화물 나노쉬트 가스 센서용 부재는 기계적인 휘어짐에도 안정적이고 극소량의 가스를 매우 높은 감도로 검출할 수 있는 감도 특성을 가진다.
- Assignee
- 한국과학기술원,단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-06-04
- Application Number
- 10-2019-0066029
- Registration Date
- 2021-02-08
- Registration Number
- 10-2215714-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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