팽창저항성이 우수한 전자현미경용 액상 칩

Abstract

본 발명은 하부 칩, 상부 칩 및 액상 시료 공급을 위한 수로 공간부를 포함하는 전자현미경용 액상 칩에 관한 것으로, 수로 공간부에 형성된 복수의 홀에 팽창저항성이 우수한 그래핀 소재의 투과박막부를 부착함으로써, 투과창 역할을 수행하지 않게 된 지지체 두께를 종래보다 더 증가시킬 수 있어 액상 시료를 보다 안정적으로 공급하면서 동시에 공간분해능 손실을 최소화하고 투과창의 팽창 현상도 억제할 수 있는 효과가 있다. 이를 위하여 본 발명은 상기 하부 칩은 하부 공동이 형성된 하부 기판; 상기 하부 기판의 상면에 배치되고, 상기 하부 공동 영역에 복수의 하부 홀이 형성된 하부 지지체; 상기 하부 홀 하부 지지체 양 단에 위치하는 스페이서; 및 상기 하부 지지체 위에 하부 홀을 덮도록 부착시킨 하부 투과박막부;을 포함하며, 상기 상부 칩은 상부 공동이 형성된 상부 기판; 상기 상부 기판의 상면에 배치되고, 상기 상부 공동 영역에 복수의 상부 홀이 형성된 상부 지지체; 및 상기 상부 지지체 위에 상기 복수의 상부 홀을 덮도록 부착시킨 일정한 팽창저항성을 갖는 상부 투과박막부를 포함하며, 상기 수로 공간부는 상기 하부 칩의 스페이서 위에 상기 상부 기판의 상면에 배치된 상부 지지체가 적층되어 형성되고, 상기 투과박막부은 상기 수로 공간부 내측에 위치하는 것을 특징으로 한다.