수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법 및 이의 장치

Abstract

본 발명은 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법 및 이의 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 (a)단층 또는 수층의 고체로 원자들이 소정의 결정 구조를 이루고 있는 이차원물질을 준비하는 단계, (b)상기 준비된 이차원물질을 필름형태의 복합물질로 구성된 이차원물질의필름으로 형성시키는 단계, (c)상기 형성된 이차원물질의 필름을 상온에 보관하는 단계, (d)상기 상온 보관을 통해 산화된 이차원물질의 필름을 사용하기 위해 상온상태의 챔버 내에 배치시키는 단계, (e)상기 이차원물질의 필름이 배치된 챔버 내에 수소가스를 주입하는 단계 및 (f)상기 주입된 수소가스에 노출된 이차원물질의 필름의 전기적 특성을 산화되기 이전의 수준으로 회복시키고, 표면 작용기의 변화를 통해 표면 개질이 되도록 상기 챔버 내에 플라즈마발생기를 통해 상온에서 플라즈마를 발생시켜 상기 이차원물질의 필름을 플라즈마처리하는 단계를 포함한다.