수소 센서 및 그 제조 방법HYDROGEN SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
본 발명의 일 실시예에 따른 수소 센서는, 도핑 농도에 따라 복수의 전극 영역과 하나의 채널 영역으로 구획되는 상부의 반도체 층이 구비되는 SOI(Silicon-On-Insulator) 기판; 상기 반도체 층의 상기 복수의 전극 영역 상에 형성되는 복수의 전극; 및 상기 반도체층의 상기 채널 영역을 식각함으로써 형성되는 실리콘 나노그물 및 수소 기체와 반응하도록 상기 실리콘 나노그물 상에 증착되는 감지 물질로 구성되는 감지부; 를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2019-07-05
- Application Number
- 10-2019-0081645
- Registration Date
- 2021-01-21
- Registration Number
- 10-2208383-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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