1주기 챔버 클리닝이 포함된 클러스터 장비에서 웨이퍼 지연 제어를 위한 Kanban 피드백 제어 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김재현 | ko |
| dc.contributor.author | 이태억 | ko |
| dc.date.accessioned | 2021-01-11T05:50:16Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-11T05:50:16Z | - |
| dc.date.created | 2020-12-07 | - |
| dc.date.created | 2020-12-07 | - |
| dc.date.issued | 2020-11-13 | - |
| dc.identifier.citation | 2020 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/279804 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한산업공학회 | - |
| dc.title | 1주기 챔버 클리닝이 포함된 클러스터 장비에서 웨이퍼 지연 제어를 위한 Kanban 피드백 제어 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2020 대한산업공학회 추계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 서울과학기술대학교 100주년 기념관 & 프론티어관 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이태억 | - |
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- IE-Conference Papers(학술회의논문)
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