개방형 미세유체 채널 일체형 바이오센서 및 이의 제조 방법OPEN MICROFLUIDIC CHANNEL INTEGRATED BIOSENSOR AND MANUFACTURING METHOD THE SAME
개방형 미세유체 채널 일체형 바이오센서 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 바이오센서는, 기판(substrate)과, 상기 기판 위에 형성되며, 공동(cavity)을 포함하는 옥사이드 층(oxide layer)과, 상기 옥사이드 층 위에 형성되며, 복수의 나노(nano) 기둥들을 포함하는 미세유체 채널이 형성되는 멤브레인 층(membrane layer)을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-11-01
- Application Number
- 10-2018-0133074
- Registration Date
- 2020-11-27
- Registration Number
- 10-2186264-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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