투명 미세 전극 및 이의 제조 방법MICROELECTRODE AND FABRICATION METHOD THEREOF
투명 미세 전극 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 미세 전극 제조 방법은, 금속층을 증착하는 단계와 상기 금속층 위에 폴리머(polymer)를 전기 방사하여 마스크를 증착하는 단계와, 상기 금속층을 선택적으로 식각하는 단계와, 상기 폴리머를 제거하는 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-02-17
- Application Number
- 10-2020-0019122
- Registration Date
- 2020-10-13
- Registration Number
- 10-2167361-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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