ＰＤＨ 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법Apparatus and method for measuring ultrafine displacement using PDH locking
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.contributor.author | 장윤수 | ko |
| dc.contributor.author | 김병수 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-12-04T02:50:51Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-04T02:50:51Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/278051 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 목적은, 측정 대상인 광학 부품에서 열적 변화 등에 의해 일어나는 미소 형상 변화 및 이에 따른 성능이 불안정해지는 정도를 모든 주파수대역에서 신뢰성있게 평가할 수 있도록 하는, PDH 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법을 제공함에 있다. 보다 구체적으로는, 본 발명의 목적은, PDH 잠금 기법을 역으로 이용하여 안정적인 레이저 광원을 기준으로 측정 대상에서 발생하는 공진주파수의 미소 변화로 인한 안정성 레벨을 효과적으로 측정할 수 있도록 하는, PDH 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법을 제공함에 있다. | - |
| dc.title | ＰＤＨ 잠금 기법을 이용한 초미세 변위 측정 장치 및 방법 | - |
| dc.title.alternative | Apparatus and method for measuring ultrafine displacement using PDH locking | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김병수 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0167866 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2088501-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-12-21 | - |
| dc.date.registration | 2020-03-06 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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