MEMS 멤브레인 구조체 및 그 제조방법MEMS membrane structure and method for fabricating thereof
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노종합기술원 | ko |
| dc.contributor.author | 이병주 | ko |
| dc.contributor.author | 임부택 | ko |
| dc.date.accessioned | 2020-12-03T04:50:27Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-03T04:50:27Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/278010 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 MEMS 멤브레인 구조체 제조방법에 관한 것으로, 실리콘기판 위에 실리콘산화막 댐 구조체를 형성하는 단계; 접착층을 증착 후 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 위에 표면보호막을 증착하는 단계; 상기 표면보호막과 희생층을 식각하여 실리콘산화막 댐 구조체 위에 1열 내지 3열의 트렌치를 형성하는 단계; 상기 1열 내지 3열의 트렌치 내부와 희생층의 표면보호막 위에 지지막을 증착하여 멤브레인을 형성하는 단계; 및 상기 1열에 증착된 지지막 내부의 희생층을 제거하여 빈 공간을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 포함하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | MEMS 멤브레인 구조체 및 그 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | MEMS membrane structure and method for fabricating thereof | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이병주 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임부택 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0149849 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2088584-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-11-28 | - |
| dc.date.registration | 2020-03-06 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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