곡면 반사층을 가지는 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 소자는, 하부 기판; 상기 하부 기판에 형성된 적외선 센서; 및 상기 적외선 센서를 감싸도록 배치된 하부 본딩 패드;를 포함한다. 상기 적외선 센서는, 상기 하부 기판의 상부면에 형성되어 검출회로와 전기적으로 연결되는 금속 패드; 상기 하부 기판의 상부면에 형성되고 적외선 대역을 반사하는 반사층; 상기 반사층의 상부에 이격되어 형성되고 적외선을 흡수하여 저항을 변화시키는 흡수판; 및 상기 금속 패드의 상부에 형성되어 상기 흡수판을 지지하고 상기 금속 패드와 상기 흡수판을 전기적으로 연결하는 앵커를 포함한다. 상기 반사층은 상기 반사층과 상기 흡수판 사이의 거리가 상기 반사층의 위치에 따라 다르도록 곡면 또는 계단 형태를 가진다.