표면 확산 정도를 제어하여 발광 파장을 설계한 마이크로 LED의 제조방법

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르는 표면 확산 정도를 제어하여 발광 파장을 설계한 마이크로 LED의 제조방법은, n-형 반도체층을 형성하는 단계; 상기 n-형 반도체층 상의 적어도 일부 영역에 디자인 된 개구 패턴이 형성된 마스크층을 형성하는 단계; 상기 마스크층의 개구 패턴을 통하여 발광 구조체를 성장시키는 발광 구조체층을 형성하는 단계; 및 상기 마스크층 및 상기 성장된 발광 구조체 상에 활성층 전구체를 분사하여 특정 원자들을 포함하는 활성층을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 활성층 상에 p-형 반도체층을 형성하는 단계; 를 포함하고, 원하는 발광 파장에 따라, 상기 마스크층 및 상기 성장된 발광 구조체의 표면 상에서 상기 특정 원자들 간의 확산 속도 차이 및 확산 가능 거리를 고려하여 상기 마스크층을 형성하는 단계의 마스크층 개구 패턴 또는 상기 활성층을 형성하는 단계의 활성층의 두께를 결정하는 것이다.