2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법RECOVERY OF ELECTRICAL PROPERTIES AND OXIDATION STABILITY IMPROVEMENT METHOD FOR TWO-DIMENSIONAL MATERIALS

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본 발명은 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 (a)이차원구조의 전이금속 탄화물 및 전이금속 탄질화물로 구성된 맥신용액을 준비하는 단계, (b)상기 준비된 맥신용액을 필름형태의 복합물질로 구성된 맥신필름으로 형성시키는 단계, (c)상기 형성된 맥신필름을 상온에 보관하는 단계, (d)상기 상온 보관을 통해 산화된 맥신필름을 사용하기 위해 진공장비 내에 배치시키는 단계, (e)상기 맥신필름이 배치된 진공장비 내에 수소가스를 주입하는 단계 및 (f)상기 주입된 수소가스에 노출된 맥신필름의 전기적 특성을 산화되기 이전의 수준으로 회복시키도록 상기 맥신필름을 어닐링시키는 단계를 포함하고, 실온에서 산화되어 전기적 특성이 하락된 맥신필름을 진공장비 내에서 수소가스에 노출시켜 어닐링함으로써, 맥신필름의 전기적 특성을 회복시킬 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2018-09-28
Application Number
10-2018-0116102
Registration Date
2020-11-09
Registration Number
10-2178752-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/277973
Appears in Collection
RIMS Patents
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