금형을 이용한 마이크로 노즐 어레이 제조 방법

Abstract

본 발명은 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는, 베이스 상에 복수의 마이크로 노즐이 배열된 고분자 재질의 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 있어서, a) 기판 상에 상기 마이크로 노즐 어레이에 대응하는 감광제 패터닝을 형성하는 단계; b) 감광제 패터닝의 요부에 금속을 충진하는 단계; c) 충진된 금속 사이의 잔여 감광제를 제거하는 단계; d) 기판 상에 감광제를 증착한 후, 충진된 금속 사이에 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는 단계; e) 상기 충진된 금속 사이의 홀에 금속을 충진하는 단계; 및 f) 잔여 감광제를 제거하는 단계;를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 관한 것이다.