광 위상 검출기 기반 자동 초점 제어 시스템, 그리고 이의 자동 초점 제어 방법

Abstract

광학 측정 시스템과 연동하는 자동 초점 제어 시스템으로서, 펄스 레이저에 동기화된 기준 신호를 출력하는 기준 신호원, 그리고 상기 광학 측정 시스템으로부터 상기 펄스 레이저로부터 출력된 광 펄스가 측정 대상의 표면에서 반사되어 들어온 광 신호를 입력받고, 전광 샘플링을 통해 상기 광 신호와 상기 기준 신호의 위상 오차에 해당하는 전기 신호를 출력하며, 상기 전기 신호를 기초로 상기 광학 측정 시스템과 상기 측정 대상의 거리를 초점 거리로 제어하는 자동 초점 제어 신호를 생성하는 광 위상 검출기를 포함한다. 상기 자동 초점 제어 신호에 의해 상기 광학 측정 시스템의 대물 렌즈와 상기 측정 대상의 거리가 상기 대물 렌즈의 초점 거리로 유지된다.