구부림 센서, 구부림 센서의 제조방법 및 에너지 발전 소자Bending Sensor, Manufacturing Method Thereof and Energy Harvesting Device
본 발명의 일 실시예에 따른 구부림 센서 제조방법은, 플렉서블 기판 상에 하나 이상의 전극 라인을 형성하는 단계; 상기 전극 라인을 구부려 상기 전극 라인에 크랙을 발생시키는 단계; 상기 형성된 전극 라인을 역피라미드 형태의 고분자 물질이 내삽된 주형에 접촉시키는 단계; 및 상기 전극 라인을 상기 주형으로부터 분리하여 상기 전극 라인 상에 상기 고분자 물질로 이루어진 피라미드 구조체를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-12-27
- Application Number
- 10-2018-0170708
- Registration Date
- 2020-04-14
- Registration Number
- 10-2102696-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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