플라즈마 처리수 생성시 광분해에 의한 OH 라디컬의 생성에 대한 연구

Abstract

최근 휘어지는 디바이스를 넘어서서 늘어나는 디바이스에 대한 연구가 활발하다. 본 연구에서는 신축 기판을 기반으로 하는 차세대 스트레처블 광전 소자에 적용하기 위해 신축성 있는 TPU(Thermoplastic polyurethane) 기판에 코스퍼터링에 의해 뛰어난 신축성이 있는 유기-무기 하이브리드 전극을 제조했다. 다양한 연신형 고분자 타겟 제조 기술과 3차원 전도성 나노 네트워크 제조기술을 융합하여 차세대 스트레처블 하이브리도 투명 전극을 개발하였다. 전도성 고분자 타겟과 합금형 금속 타겟을 동시에 스퍼터링하는 하이브리드형 스퍼터 공정을 개발하여 연신형 고분자 matrix에 전도성 나노 입자가 self-agglomeration하여 3차원 네트워크를 구현하였다. TPU 상에 단일 무기 박막과 유-무기 하이브리드 박막의 전기적, 광학적, 기계적 특성에 대한 평가를 진행하였다. 고분자 물질의 신축성과 금속의 전도성을 통하여 뛰어난 신축 성을 갖는 stretchable electrode를 얻을 수 있었다. 기존에 보고되었던 2차원 형태의 단일 무기 박막은 10% 의 strain에서 큰 전기적 변화가 보이는 것과는 다르게 하이브리드 박막은 20%의 strain에서 일정한 저항값 을 나타내었다. 본 연구진이 보유한 다양한 신축성 테스트(Stretching fatigue test)를 통해 전극의 안정성을 분석하였으며 이를 통해 하이브리드 스트레처블 전극이 차세대 웨어러블, 센서, 스트레처블 기기에 적용 될 가능성을 확인하였다.