쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템 및 방법SHADOW MASK SELF-ALIGNMENT SYSTEM AND SHADOW MASK SELF-ALIGNMENT METHOD
본 발명은, 기판이 배치되는 자석판; 상기 기판 상에 배치되는, 자성을 갖는 가이드판; 및 상기 기판 상에서 자성에 의해 상기 가이드판에 끼워져 자가 정렬되는 쉐도우 마스크;를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-03-29
- Application Number
- 10-2018-0036210
- Registration Date
- 2020-06-26
- Registration Number
- 10-2129530-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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