낮은 영률을 가지는 신축성층 위 단단한 아일랜드 패턴의 제작 방법 및 이를 이용한 신축성 전자소자 플랫폼Fabrication of rigid islands on stretchable layer with low Young's modulus and applications to stretchable electronics platform thereof
낮은 영률을 가지는 신축성층 위 단단한 아일랜드 패턴의 제작 방법 및 이를 이용한 신축성 전자소자 플랫폼이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 낮은 영률을 가지는 신축성층 위 단단한 아일랜드 패턴을 갖는 신축성 전자소자 플랫폼은 제1 영률을 갖는 신축 기판, 상기 신축 기판 상에 상기 제1 영률보다 낮은 영률을 갖는 신축성층이 코팅되는 실비온(silbione) 층 및 상기 신축성층 상에 상기 제1 영률보다 높은 영률을 가지며, 포토리소 방법을 통해 단단한 아일랜드 및 구불구불한 신축성 인터커넥터 패턴으로 형성된, SU-8과 같은 포토레지스트나 UV경화성 수지로 이루어진 고정층을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2018-04-03
- Application Number
- 10-2018-0038508
- Registration Date
- 2020-04-14
- Registration Number
- 10-2103067-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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